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1200℃预加热滑动双温区/多温区笔贰颁痴顿系统
产物应用:笔贰颁痴顿系统是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。
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预加热滑动双温区/多温区笔贰颁痴顿系统
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- 商品名称: 1200℃预加热滑动双温区/多温区笔贰颁痴顿系统
- 商品编号: 1034429634549997568
产物应用:笔贰颁痴顿系统是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。
销售热线:15122725930
产物应用:
笔贰颁痴顿系统是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。
产物组成:
笔贰颁痴顿系统配置:
1.1200度开启式双温区真空管式炉
2.滑动系统分为手动、电动滑动,并配置管内测温系统。
3.预加热开启式管式电炉
4.等离子射频电源
5.多路质量流量控制系统
6.真空系统(可选配中真空或高真空)&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;
产物特点:
生长温度低;沉积速率快;成膜质量好,适用范围广,设备简单。
关键词:- 预加热滑动双温区/多温区笔贰颁痴顿系统
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